为了追赶台积电，很显然三星也在努力的采购ASML的最新一代光刻机，而花费也是巨大的。

据报道称，三星电子和ASML就引进今年生产的EUV光刻机和明年推出高数值孔径极紫外光High-NA EUV光刻机达成采购协议。

High-NA EUV光刻机精密度更高、设计零件更多，是延续摩尔定律的关键，推动2nm以下制程，估计每台要价4亿美元。

ASML今年只能生产50台EUV设备，交货周期为1年6个月，ASML有限的生产能力和较长的交货时间正加剧各大晶圆代工厂订购 High-NA EUV光刻机的竞争。

在这之前， Intel已率先与ASML采购5台这款新设备，还宣称2024年初就能生产2nm、2024 年下半更能生产1.8nm。台积电称会在2024年拥有ASML次世代最先进的光刻机。

有消息人士透露，三星电子已获得ASML今年EUV光刻机产能中的18台。这意味三星仅在EUV光刻机上就将投资超过4兆韩元。