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摆脱对日本100%依赖 三星将用上韩国产EUV光罩技术
2026-01-12 22:45:37  出处:快科技 作者:宪瑞 编辑:宪瑞     评论(0)点击可以复制本篇文章的标题和链接复制对文章内容进行纠错纠错

快科技1月12日消息,虽然日本在EUV光刻机上落后了ASML公司,但在EUV技术上依然有很强的地位,包括EUV光刻胶、EUV光罩等核心材料。

三星目前的EUV光罩也几乎是100%依赖日本进口产品,主要来自Hoya豪雅及AGC(原来的旭硝子)公司,这些老牌光学、玻璃产品公司也是全球EUV光罩的重要供应商。

但是日本在2019年对韩国祭出了三大半导体核心材料的出口管制,导致韩国公司开始大力推进自研半导体技术替代进口,现在EUV光罩上也取得了突破。

过去几年三星一直在跟韩国的S&S科技合作EUV光罩,日前的消息称已经取得了突破,双方的验证到了最后阶段,预计Q2季度开始供货。

考虑到EUV光刻机及工艺复杂而且昂贵,三星也不可能一下子全部用国产EUV光罩替换,而是会少量替代,然后逐渐推广扩大。

不出意外的话,SK海力士也同样会扩大对韩国国产的EUV光罩等产品的采纳与应用。

不过这么多年过去了,韩国在日本EUV材料替代上其实并不能说有多完美,6年前就说替代日本的EUV光刻胶,目前日本公司在这个领域还是第一的,韩国也没多少公司能产EUV光刻胶。

这不仅是因为EUV相关技术研发难度大,也跟很多EUV材料市场空间其实没大家想象的那么大有关,EUV光罩一年也就3亿美元的市场,三星顶多占个1/3,也就1亿美元的用量,投入的研发经费恐怕都比这个多。

当然,上面的问题如果换做是国内市场就不一样了,国内对EUV及DUV相关的材料及设备需求是远超韩国的,替代空间大多了,而且动力也更紧迫。

摆脱对日本100%依赖 三星将用上韩国产EUV光罩技术

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