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EUV光刻机是研制先进芯片的一条路径,但并非唯一解。 对于国内厂商来说,当前在3D NAND闪存的发展上,就因为不需要EUV机器,从而找到了技术追赶的机会。 而在DRAM内存芯片领域,尽管三星、美光