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快科技8月27日消息,中微公司近日宣布,其先进薄膜设备累计出货正式突破500个反应台。 产品涵盖低压化学气相沉积、金属薄膜沉积、介质薄膜沉积等多款核心机型,全面覆盖半导体制造主流薄膜沉积