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快科技7月24日消息,据报道,俄罗斯正与白俄罗斯Planar公司合作开发九套芯片生产设备,覆盖光掩模制造和光刻工艺关键环节。 据介绍,九套设备涵盖光掩模图案制作、缺陷监测、拓扑控制和激光修正