近日台积电声明指出，关键设备EUV“安全无虞”，在地震10小时后产能就恢复到了七成或八成，然而地震及余震仍然对部分生产设施产生影响。

供应链指出，此次地震致使生产中断以及造成损失约为6200万美元。

其中，虽然EUV没有损坏，但工厂的横梁、柱子、墙壁和管道在地震中遭到损坏，台积电并未对此置评。

此外，该公司在5日发出的最新声明中表示，除了位于震幅较大地区的部分生产线需要较长的时间调整、校正以回复自动化生产外，感谢公司同仁及供应商伙伴的共同努力，台湾晶圆厂内的设备已大致复原。

台积电还表示，全年业绩展望以美元计仍将维持一月法说会的水平，全年营收预计增长低至中段二十位数百分比。

TrendForce集邦咨询透露，由于本次地震大多晶圆代工厂都位属在震度四级的区域，加上中国台湾地区的半导体工厂多以高规格兴建，内部的减震措施都是世界顶尖水平，多半可以减震1至2级。

以本次的震度来看，几乎都是停机检查后，迅速复工进行，纵使有因为紧急停机或地震损坏炉管，导致在线晶圆破片或是毁损报废，但由于目前成熟制程厂区产能利用率平均皆在50~80%，故损失大多可以在复工后迅速将产能补齐，产能损耗算是影响轻微。