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7nm高端DUV光刻机仍可出口!ASML订单爆满:今年销售激增30%
快科技7月19日消息,ASML今天给出公告称,提高财年指引,预计净销售增长将达到30%,主要是光刻机订单爆满。
ASML的第二季度订单额为45亿欧元,市场预计为39.8亿欧元。预计第三季度净销售额为65亿欧元至70亿欧元,市场预测为65.1亿欧元。
之前,ASML在其官网发表声明称,该公司未来出口其先进的浸润式DUV光刻系统(即TWINSCAN NXT:2000i及后续浸润式系统)时,将需要向荷兰政府申请出口许可证。
ASML强调,该公司的EUV系统的销售此前已经受到限制。
据ASML官网提供的信息,该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。
ASML官网上关于这一台TWINSCAN NXT:1980Di的介绍,其中在分辨率方面,写到是大于等于38nm(可以支持到7nm左右),而这是指一次曝光的分辨率,事实上光刻机是可以进行多次曝光的。
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