全球的EUV光刻机只有荷兰ASML能够生产，日本两大光刻机公司佳能、尼康退出了EUV生产，但日本公司在EUV产业链上依然有很强的积累，EUV光刻胶及EUV晶圆主要是日系厂商控制。

三年前日本为了打压韩国，宣布限制多种先进半导体技术和材料出口给韩国，EUV方面的产品就很敏感，不过韩国公司也在积极研发替代产品，日前SK财团下属的SK Siltron宣布研发出10nm级第四代(1a)DRAM的抛光晶圆，可用于EUV工艺的内存芯片生产。

SK Siltron是韩国最大、世界第三的硅晶圆公司，旗下产品主要有抛光片及外延片，前者以高精度多晶硅为基础，适用于内存及闪存芯片，后者以高精度单晶硅为基础，适用于逻辑工艺，也就是生产CPU、GPU之类的芯片。

三星及SK海力士的DRAM内存芯片也开始应用EUV工艺，所需的EUV级硅晶圆之前只有日本两家公司胜高及信越（他们两家是第一、第二大硅晶圆供应商）可以生产，三星也要进口日本厂商的产品。

随着SK Siltron量产EUV级别硅晶圆，三星及SK海力士也会采购韩国公司的产品，减少对日本厂商的依赖，实现供应链多元化。