在半导体生产中，光刻机是核心设备，不仅决定了芯片制造的工艺水平，也是耗时最多、成本最高的一步，目前先进的7nm、5nm及接下来的3nm都需要EUV光刻机，一台售价将近10亿人民币，目前还是供不应求。

EUV光刻机目前只有荷兰ASML公司可以生产，他们的产能将决定全球先进工艺扩张的速度，日前ASML公司高级副总裁Christophe Fouquet在高盛会议上确认，将增加EUV光刻机的产能。

他们原本预计在2025年的时候EUV年产能是70台，现在决定提升到每年90台，有助于缓解产能不足的问题。

今年Q2季度还没结束，ASML公司就收到了超过100台EUV光刻机的订单，这已经大大超过了他们的产能，今年该公司计划出货EUV光刻机不过55台，只能满足一半的订单量，客户都要排队等待。