根据Intel之前公布的路线图，Intel 4工艺会是他们首个使用EUV光刻机的工艺，下半年量产，他们从ASML购买的EUV光刻机现在正式开始在爱尔兰的工厂安装，这是Intel第二个、欧洲首个EUV工艺晶圆厂。

Intel前几年就在爱尔兰的Fab 34晶圆厂投资70亿美元升级，主要是为Intel 4工艺准备的，原先该工艺是7nm，去年改名之后就等效于其他厂商的4nm EUV工艺了，也是Intel首个使用EUV光刻机的工艺。

今年1月底，Intel就在Fab 34晶圆厂安装了光刻胶显影设备(lithography resist track)，不过它还不是真正的EUV光刻机，现在才开始安装EUV光刻机，要为下半年的量产做准备了。

根据Intel公布的视频，目前约有100多名ASML的工程师进驻工厂协助安装，同时Intel也从美国俄勒冈州的工厂中派来了工程师培训爱尔兰当地的员工，教导他们使用EUV光刻机。

Intel没有公布这款光刻机的具体型号，不过ASML最新的EUV光刻机超级贵，均价10亿元左右，先进工艺晶圆厂的投资都是几十亿美元甚至上百亿美元级别的。

Alder Lake 12代酷睿、Raptor Lake 13代酷睿都是Intel 7工艺(10nm ESF)，Meteor Lake 14代酷睿和代号Granite Rapids的下下代至强都将用上Intel 4工艺，今年下半年就要量产，不过14代酷睿上市还要到2023年。