日前国产芯片厂商格科微宣布成功实现整套ASML光刻机中的关键设备——先进ArF光刻机的搬入。

据格科微表示，目前，格科微洁净室已按计划分阶段顺利验收，相关厂务系统配备进展顺利，共有六十一台设备已经搬入。未来，外延、蚀刻、薄膜、清洗等相关设备仍会陆续搬入。

格科微表示，ArF光刻机的成功引入，是格科微“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”建设的关键节点。

依托自有工厂即格科半导体的先进制程，格科微将进一步加快先进CIS工艺和高阶专利像素的研发速度，并在自有工厂实现批量生产验证，从而极大缩短高端产品从研发到大量供应市场的周期。

据了解，该项目总投资约155亿元，建设一座12英寸、月产6万片的芯片厂，建造12英寸晶圆CMOS图像传感芯片特殊工艺制造生产线，预计年底达到量产状态。

今年2月，格科微披露2021年度业绩快报。报告期内，公司实现营收70亿元，同比增长8.44%；实现归母净利润12.59亿元，同比增长62.78%；扣非净利润12.03亿元，同比增长57.09%。