半导体制造中最关键的设备就是光刻机，7nm以下的先进工艺中都离不开EUV光刻机，现在全球都要靠荷兰ASML（阿斯麦）公司供应，每台机器都价值不菲。

前不久该公司发布了2021年Q1季度财报，当季营收43.64亿欧元，同比增79%，上年同期为24.41亿欧元；净利润为13.31亿欧元，同比增240%，上年同期为3.91亿欧元。

光刻机销量方面，净订单额高达47.4亿欧元，其中EUV光刻机就占到了22.9亿欧元。

具体来说，Q1季度中交付并产生收入的EUV光刻机有7台，比去年Q4季度的8台少了1台。

不过价格倒是越来越贵了，EUV光刻机贡献的收入大约是11.26亿欧元，算下来单价是1.6亿欧元，约合12.5亿元人民币，比上个季度中的平均单价1.44亿欧元提升了11%。

如果大家还关注过一两年前的报道，那可能还记得当时EUV光刻机的单价约为1.2亿欧元，意味着这两年来光刻机的价格还是在不断上涨的。

当然，从另一方面来看，EUV光刻机也不是以前的型号了，这几年ASML一直在改进EUV光刻机，出货的型号有NEX3400B、NXE3400C等不同，而且每个EUV光刻机还会有配套的服务（安装也需要ASML工程师），价格也会慢慢涨的。