在四季度财报会议上，荷兰ASML（阿斯麦）表示，预计今年将出货交付40台EUV光刻机，比去年多9台。

CEO Peter Wennink估算今年EUV光刻机系统的销售收入在58亿欧元左右。四季度，ASML手里未出货的订单价值42亿欧元，其中包括价值11亿欧元的6套EUV设备，大概每台单价是1.83欧元（约合14亿元），比此前1.2亿欧贵了。即便如此，对于三星、台积电、Intel来说仍供不应求，谁让EUV光刻机ASML独一份呢……

Wennink还表示将推进0.33NA的EUV设备应用，以满足客户的节点需求（5nm、7nm等）。

据悉，ASML四季度净销售额为43亿欧元，净利润为14亿欧元。2020年全年净销售额为140亿欧元，毛利率达到48.6%，净利润为36亿欧元。

此前资料称，ASML定于今年中旬交付最新一代EUV光刻机TWINSCAN NXE:3600D，生产效率提升18%、机器匹配套准精度改进为1.1nm。