对于现在的芯片代工厂来说，拥有最先进的光刻机重要性已经不言而喻，而作为龙头的台积电肯定也是明白这个道理。

之前有消息称，台积电打算在2021年底前购置55台EUV光刻机，以加快EUV相关工艺制程的发展，而当前全球一半投入使用的EUV光刻机都在台积电手中。

据了解，一台EUV光刻机售价近8亿元，55台EUV光刻机价值约440亿元。

对于这样的消息，台积电方面回应称，不方便透露消息具体的真实性，这涉及到商业机密。

按照之前曝光的消息看，台积电的3nm工艺正在按计划推进，计划在2021年风险试产，2022年大规模投产，而据说3nm工艺准备了4波产能，其中首波产能中的大部分，将留给他们多年的大客户苹果。

此外，剩下的三波产能将被高通、Intel、赛灵思、NV、AMD等厂商预订，而3nm工艺在大规模投产之后，台积电设定的产能是每月5.5万片晶圆，随后逐步提升，在2023年提高到每月10万片晶圆。