10月1日，韩国产业通商资源部层表示，氟化氢申请进口将近90天，日本政府却未批准许可。不过今天SK海力士相关负责人表示，日本已于9月30日批准了其有关气态氟化氢的进口申请。

日本政府7月加强对韩出口限制，受限的半导体及显示器原料品项包含氟化氢、光刻胶以及氟化聚醯亚胺。半导体制程中，氟化氢是洗去蚀刻、杂质的清洁原料，日本产品占全球市场7成以上。

自日本出台出口限制政策后，SK海力士开始在部分产线中投入韩国制氟化氢。但业界普遍认为，韩国的高纯度氟化氢很难完全替代日制产品。半导体业界相关人士解释，韩国为了减低对日依赖度，将韩国产品投入了部分生产线，但也不是完全取代日制产品，比较像是分散供应链。