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芯片材料国产化重大突破!高纯石英首次打入DRAM大厂:用于300mm晶圆
2026-09-11 16:00:37  出处:快科技 作者:红茶 编辑:红茶     评论(0)点击可以复制本篇文章的标题和链接复制对文章内容进行纠错纠错

快科技9月11日消息,据报道,江苏太平洋石英股份有限公司的炉管系列产品,已通过国内一家头部DRAM制造商的认证,可用于300毫米晶圆生产。

太平洋石英此次认证的意义在于,这是国产高纯石英首次进入晶圆制造的核心工艺环节。此前,其产品已向泛林集团、东京电子等国际半导体设备巨头批量供应,包括LPCVD扩散管、晶舟、石英锭等,纯度达4N5至5N级。

此次通过DRAM厂商认证,标志着从石英砂提纯、炉管加工到供应晶圆厂的完整链条已基本实现国产化。太平洋石英自2009年起与南京大学团队合作,历经6年攻关,将超纯石英砂纯度做到99.999%,填补了国内空白。

然而,报道同时指出一个关键差距。太平洋石英的产品用于硅片制造完成后的晶圆制造环节,而半导体硅锭拉制所需的石英坩埚则处于更上游的硅片生产阶段,对纯度要求更高,需达5N以上且对关键杂质限制极为严格。

目前此类石英的大规模供应,仍被美国北卡罗来纳州Spruce Pine小镇的Sibelco和The Quartz Corp.垄断,两家合计控制全球超90%的高端石英砂市场。

业内分析认为,太平洋石英尚无法生产用于生长9N至11N纯度硅片的高规格坩埚。中国半导体材料在坩埚这一更上游的关键环节上,仍需时间实现突破。

芯片材料国产化重大突破!高纯石英首次打入DRAM大厂:用于300mm晶圆

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