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中芯国际搞定7nm EUV光刻机?官方称报道不实
2019-12-12 12:57:11  出处:快科技 作者:上方文Q 编辑:上方文Q   点击可以复制本篇文章的标题和链接

半导体工艺的进步一直备受关注,尤其是国产半导体技术差距依然很大,每一步都走得很艰难,每一步都令人鼓舞。

日前,韩国媒体报道称,国内最大代工厂中芯国际的董事长周子学博士在韩国访问期间透露,已经与荷兰光刻机巨头ASML解决了7nm EUV极紫外光刻机的供应问题。

不过,中芯国际方面发表声明称,《BusinessKorea》等韩国媒体发布的报道中“引用”了中芯国际董事长周子学博士在韩国参会时对EUV事宜的表态,此类报道违背事实,纯属捏造。

中芯国际强调,周子学董事长仅参加了本月“中韩工商领袖和前高官对话”内部会议环节,期间并未接受任何媒体采访,在发言中也从未提及EUV事宜。

至于EUV光刻机的具体进展,中芯国际未披露更多详情。

去年上半年层有外媒报道称,中芯国际已经向ASML订购了一台EUV光刻机,单价1.2亿美元,预计2019年初交付,但在不久前又有说法称,ASML已停止对中芯国际供应EUV光刻机,ASML则回应称不是停供而是延期,主要是在准备该国政府的出口申请文本工作。

对于这一事件,中芯国际方面始终保持沉默,可能是涉及到商业合作机密,不便对外公开,我们也只能继续期待了。

中芯国际搞定7nm EUV光刻机?官方称报道不实

中芯国际声明全文如下——

中芯国际关于韩国媒体涉EUV不实报道的声明

近日,《BusinessKorea》等韩国媒体发布报道,“引用”中芯国际董事长周子学博士在韩国参会时对EUV(极紫外光刻机)事宜的表态。中芯国际对此郑重声明,此类报道违背事实,纯属捏造。周董事长仅参加了本月“中韩工商领袖和前高官对话”内部会议环节,期间并未接受任何媒体采访,在发言中也从未提及EUV事宜。  

对于杜撰及传播谣言的媒体和个人,公司表示强烈谴责,将保留诉诸法律追责的权利。

特此声明。

中芯国际集成电路制造有限公司

2019年12月9日

中芯国际搞定7nm EUV光刻机?官方称报道不实

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