Intel、台积电先后投入巨资之后，三星电子近日终于下定决心，掏钱投资荷兰光刻巨头ASML Holding NV，帮助后者最终顺利完成了预定的联合投资融资计划。

七月初，Intel宣布将向ASML投资总计33.67亿欧元，其中8.29亿欧元用于450毫米晶圆和EUV极紫外光刻技术、25.38亿欧元用于购买15％的股权。将近一个月后，台积电也宣布投资2.76亿欧元帮助ASML开发新技术，再拿出8.38亿欧元购买5％的股权。

三星电子在新技术研发上的投入也是2.76欧元(3.44亿美元)，不过购买股权方面只花了5.03亿欧元(6.28亿美元)，换取了3％，因此是三巨头中投资最少的，总计7.79亿欧元(9.72亿美元)。

这样一来，ASML就得到了总计13.8亿欧元(17.22亿美元)的研发资金，正好达到了最初的预期值，而通过卖掉23％的股权换来了38.79亿欧元(48.39亿美元)，合计达到52.59亿欧元(65.61亿美元)。虽然还有2％的股权未能卖掉，但相信这一大笔钱足够维持ASML的运营和新技术研发了，这也是整个半导体行业的福音。

整个投资计划将在9月7日的股东大会上接受审批。