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快科技8月10日消息,国产光刻设备赛道传来重磅利好突破。上海芯上微装科技股份有限公司正式对外宣布,近日公司自主研发的350nm步进投影光刻机(AST6200),已经顺利通过国内化合物半导体领域头部
快科技8月10日消息,日前,上海芯上微装科技股份有限公司(简称“芯上微装”)宣布,其第500台步进光刻机成功交付,标志着我国高端半导体装备产业迈入新阶段。 据了解,先进封装光刻