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  14nm国产小光刻机研制成功！攻克晶圆在线量测卡脖子难题

  快科技9月2日消息，半导体量检测设备企业惠然微电子近日披露了其电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM）国产化的最新进展。CD-SEM被业界称为"小光刻机"，是国产化率第二低的半导体设备品类

  2026-09-02 10:320000

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