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  国产光刻机里程碑！前道干式光刻机落地：流片破千万片

  快科技11月7日消息，11月5日至10日，第九届中国国际进口博览会在上海举行。上海微电子（SMEE）自主研发的新一代前道干式光刻机通用技术平台模型正式亮相，展示了我国前道光刻装备自主化的阶段性

  2026-11-07 21:450000

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