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  ASML的第二道防线被撕开缺口！国产量检测要用EUV了

  快科技8月26日消息，在芯片制程从FinFET向GAA环绕栅极结构演进、器件尺度持续微缩的背景下，传统光学检测已无法满足精度要求，电子束检测速度又太慢。 EUV量检测凭借高分辨率、高速度和无损检测

  2026-08-26 11:010000

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