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  中国刻刀！首台国产电子束光刻机出炉：和EUV光刻有何区别

  快科技8月17日消息，据国内媒体报道，近日，全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。 在杭州城西

  2025-08-17 09:340000

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  首台国产商业电子束光刻机面世！精度0.6nm比肩国际主流

  快科技8月14日消息，据报道，近日全国首台国产商业化电子束光刻机在杭州正式亮相，这台设备由浙江大学余杭量子研究院自主研发，型号为“羲之”，已完成研发并进入应用测试阶段。 &ld

  2025-08-14 18:45258310

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