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快科技7月21日消息，据报道，俄罗斯绿城纳米技术中心（ZNTC）已成功研制出一台电子束光刻机（ELL）原型机，设计标准为150纳米。 该项目属于俄罗斯国家计划科学技术发展框架下的重点研发任务，代
快科技8月17日消息，据国内媒体报道，近日，全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。 在杭州城西
快科技8月14日消息，据报道，近日全国首台国产商业化电子束光刻机在杭州正式亮相，这台设备由浙江大学余杭量子研究院自主研发，型号为“羲之”，已完成研发并进入应用测试阶段。 &ld
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