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快科技8月28日消息，芯上微装近日宣布，其自主研发的350nm步进投影光刻机AST6200顺利通过国内化合物半导体领域头部客户全流程工艺验证，并斩获批量重复采购订单。 从2025年11月首台设备发运到2
据中国政府采购网12月25日披露的公告显示，国产光刻机厂商上海微电子装备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子”）中标了一台步进式扫描光刻机，成交金额约为1.1亿元。 在目
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