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快科技7月21日消息,据报道,俄罗斯绿城纳米技术中心(ZNTC)已成功研制出一台电子束光刻机(ELL)原型机,设计标准为150纳米。 该项目属于俄罗斯国家计划科学技术发展框架下的重点研发任务,代