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当地时间2024年1月1日,光刻机大厂ASML发布声明称,荷兰政府最近已经部分吊销了2023年发货NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统的许可证,影响到了少数中国客户。
也就是说,ASML的部分对中国客户的出口许可证在2023年12月31日到期之前,就已经被荷兰政府吊销了。
据彭博社的报道,知情人士称,在相关许可证到期之前几周,荷兰政府就应美国政府的要求,吊销了部分高端DUV光刻机的对华出口许可证。
ASML在声明中称,目前出口许可证的撤销或美国最新的出口管制限制不会对其 2023 年的财务前景产生重大影响。
“在最近与美国政府的讨论中,ASML获得了美国出口管制法规的范围和影响的进一步明确。美国最新出口规则(2023 年 10 月 17 日发布)对有限数量的先进生产设施的某些中关键的浸没式DUV光刻系统施加了限制。”
ASML强调,“我们完全致力于遵守所有适用的法律和法规,包括我们经营所在国家的出口管制立法。”
2023年9月1日,荷兰政府此前于2023年6月底颁布的有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例正式生效。这些新的出口管制条例主要针对的对象为先进的芯片制造技术,包括先进的沉积设备和浸润式光刻系统。
ASML公司当时就曾表示,尽管出口限制从9月开始生效,但该公司现有的许可证仍能够允许其在2023年底前继续将NXT:2000i 和更先进的DUV光刻机运送到中国。
“我们的客户了解出口管制法规,因此他们知道,自 2024 年 1 月 1 日起,我们不太可能获得向中国国内客户运送这些系统的出口许可证。”
2024年10月17日,美国商务部工业与安全局(BIS)又发布多项规则,更新并扩大了2022年10月7日发布的对先进半导体及其制造设备实施的一系列严格的出口管制措施等。
ASML当时回应称,“根据目前收到的信息,我们认为适用该新规的涉及先进芯片制造的中国晶圆厂数量有限……ASML将向美国政府进一步澄清这些新规的适用范围。ASML持续致力于遵守经营所在国家/地区所有适用的法律和法规,包括出口管制法规。”
在2023年三季度财报会议上,ASML CEO Peter Wennink进一步解释称:
“1980Di原则上将受出口管制限制,但仅当用于先进半导体制造时,仅适用于少数应用。这意味着1980Di仅对少数晶圆厂禁止出口,但可向绝大多数应用于次关键和成熟制程的中国大陆客户直接出口,无需许可。”
也就是说,ASML得益于此前从荷兰政府那里所取得的出口许可证,其依然可以在2023年底之前向大多数的应用于次关键和成熟制程的中国晶圆制造商出口浸没式DUV光刻系统,包括NXT:1980Di,以及被禁的NXT:2050i、NXT:2100i高阶浸没式DUV光刻系统等。
ASML三季度财报也显示,该季实现净销售额为66.73亿欧元,同比增长约15.51%,环比下跌3.3%;毛利率为51.9%,同比上涨0.1个百分点,环比上涨0.6个百分点;净利润为18.93亿欧元,同比增长约11.76%,环比下跌约2.52%。
从地区来看,ASML三季度来自中国大陆的销售收入占比由二季度的24%(销售额约为13.45亿欧元),几乎翻倍增长到了46%(销售额约为24.42亿欧元),要知道今年一季度中国大陆的销售收入占比仅8%。
这也进一步凸显了中国大陆市场对于ASML光刻系统的需求的快速增长。
根据中国海关的数据显示,2023年三季度(7-9月)中国半导体制造设备进口额较去年同期暴涨了93%至634亿元人民币。
就产品类别来看,光刻设备进口额暴涨了近4倍。其中,来自荷兰的进口额暴涨了超过6倍,这显然就是荷兰光刻机龙头ASML的光刻机产品。来自日本的半导体设备进口额成长约40%、来自美国的进口额则仅增长20%。
2023年10月,中国大陆从荷兰进口的光刻机数量达21台,总价值6.725亿美元。2023年11月,中国大陆进口了42台光刻设备,总价值高达8.168亿美元。其中有16台光刻机是来自荷兰,总价值7.627亿美元,同比增长了1050%。
需要指出的是,ASML在2023年四季度出货的设备,多数在2022年底或2023年初就已取得了许可。ASML在2023年中的交货周期大约18个月,意味着2023年第四季出货的设备,应该是在2022年二季度或三季度就已经下了订单。
随着荷兰政府部分吊销了2023年发货NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统的许可证,这也意味着ASML在数周之前就已经无法继续向中国客户交付此前尚未完成交付的相关高端DUV光刻机订单。