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作为半导体行业最重要的生产设备,光刻机实在太重要了,整个芯片生产1/3的时间及成本都耗费在光刻上,EUV光刻机更是只有荷兰ASML一家公司能产,单台售价超过10亿元,这个生意一般人做不了。
半导体工艺在7nm及以上的时候,不用EUV光刻机也能制造,就是成本有点高。目前对EUV光刻机有需求的厂商就三个——Intel、台积电、三星,其中后两家的EUV工艺已经量产,Intel的要到2021年7nm工艺上才会用到EUV光刻机。
那这三家公司对EUV光刻机有多少需求?根据ASML提供的计算方式,每月4.5万片晶圆、一层EUV光刻的话就需要一台光刻机。
再根据Intel、三星、台积电三大厂商潜在的产能需求来算,他们需要的EUV光刻机大概是300到600台,按照6年折旧期的话,每年需求量在50-100台EUV光刻机之间。
全球最先进的工艺竟然只需要50-100台光刻机就能搞定?听上去有些少,但确实如此,EUV光刻机非常重要,但它并不是一个很大的市场,ASML的主力营收依然是非EUV光刻机。
今年他们的数据,2019年出货了26台EUV光刻机,2020年之前预计出货35台,现在因为经济放缓,35台EUV光刻机难说能保证了。
即便是到了2021年全球EUV产能大爆发的时候,他们的EUV光刻机交付量也就是45-50台,比测算出来的数据要低很多。
ASML的EUV光刻机单台售价约为1.2亿欧元,差不多是10亿人民币,但全球每年的EUV光刻机市场也就500亿人民币左右,并不是一个大市场。
但从技术上来说,EUV光刻机的研发花费的资金远不止500亿了,从原型到现在差不多有20年了,直到现在EUV光刻机还没有达到完全体,在生产能力上还没有达到传统DUV光刻机的水平。
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