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国内最大的晶圆代工厂中芯国际18日宣布,公司在2019年3月12日至2020年2月17日的12个月期间就机器及设备向泛林团体发出一系列购买单,花费斥资6.01亿美元(约合42亿元人民币)
泛林Lam Research是一家美国公司,也是全球半导体装备行业的巨头之一,与应用材料、KLA科磊齐名,2019年营收95亿美元,在全球半导体装备行业位列第四,仅次于ASML、TEL日本东京电子及KLA。
泛林生产的设备主要是蚀刻机、CVD(化学气相沉积)、清洗、镀铜等设备,其中来自中国市场的客户是第一大来源。
结合中芯国际最新财报中的说法,过去一年中花费42亿元购买泛林半导体设备(采购自泛林的只是其中一部分)显然是为了扩大14nm工艺生产,在去年底开始量产之后,14nm工艺的产能就是中芯国际的重点。
根据根据中芯国际联席CEO梁孟松的说法,14nm月产能将在今年3月达到4K,7月达到9K,12月达到15K。
中芯国际的14nm产能在15K晶圆/月之后应该不会继续提升了,还有更新的工艺。
除了14nm及改进型的12nm工艺之外,中芯国际的N+1、N+2代工艺也会陆续在今年底开始试产,相当于台积电7nm低功耗、7nm高性能工艺级别,未来一两年也会是产能建设的重点。
在美国封杀华为等中国公司日趋疯狂的背景下,国产14nm工艺加快产能建设将有助于国产芯片发展,避免受制于人。
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