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据报道,LG公司日前已经成功试用了韩国国产的高纯度氟化氢,试验结果没有发生问题,因此LG公司将在未来1-2个月里完全用国产材料替代日本公司进口的氟化氢。
韩国公司实施日本替代战略跟两国的关系有关,源于7月份的日本、韩国之间的贸易争端没有缓解的迹象,日本先后两次发布禁令限制韩国公司进口日本原材料,其中影响最大的三种是光刻胶、氟化聚酰亚胺和氟化氢。
高纯度的电子级氟化氢是氟精细化学品的一种,在半导体制造工艺中主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻胶图案化之后的蚀刻细槽或孔等流程,是一种半导体生产中非常重要的原材料,日本公司在这个领域占据主要份额。
在日本实施管制之后,虽然也先后两次发布了许可申请,对韩国公司的实际影响没之前传闻的那么严重,但是这件事已经加速了韩国公司实施日本替代的决心,三星、SK海力士、LG等公司都在试用韩国本土或者中国进口的半导体材料。
LG目前试用成功的是国产氟化氢主要是用于面板生产的,纯度要求没有半导体芯片生产那么高,所以比较容易替代成功。
用于尖端半导体芯片生产的高纯度氟化氢没这么容易替代日本进口的,但是三星、SK海力士也在加快实施国产或者进口多元化战略,依赖日本进口的现象以后是不会有了。
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