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台积电彻底疯狂:首次自曝3nm工艺
2017-03-20 18:37:48  作者:上方文Q 编辑:上方文Q   点击可以复制本篇文章的标题和链接
 
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天字一号代工厂台积电这几年在新工艺方面极为激进,正在大规模量产10nm、加速推进7/5nm,现在还首次曝光了全新的3nm,已经接近半导体工艺的物理极限。

台积电彻底疯狂:首次自曝3nm工艺

台积电的大本营一直在台湾:10nm位于中科厂Fab 15五到六期;7nm位于七到九期,2018年量产;5nm则位于南科厂Fab 14九期,2019年下半年量产。

不过到了3nm,台积电正考虑赴美投资建厂,投资额高达5000亿台币,主要原因是南科方面从提出投资方案到通过环评审核,至少需要5年时间,而且空气质量、电力供应都是问题。

另外台湾对于大陆的工艺输出也一直是N-1政策,即最高输出第二新的工艺。如果台积电转到美国投资,对于大陆方面肯定也会加强投资和输出力度。

至于3nm工艺本身,由于还处于前期研究阶段,台积电没什么可透露的,只说正在与设备厂商、材料供应商共同研究技术途径,暂定2022年左右量产。

按照行业规划,极紫外光刻到时候应该可以上马了,450mm大晶圆则很难说,最近一直没什么进展。

台积电彻底疯狂:首次自曝3nm工艺

 

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